一、概述

SE-Vi 是一款集成式原位光譜橢偏儀，針對有機(jī)/無機(jī)鍍 膜工藝研究的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化 開發(fā)，快速實現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析。

二、測試案例

成膜工藝監(jiān)控

膜厚表征

三、產(chǎn)品應(yīng)用

廣泛應(yīng)用于金屬薄膜、有機(jī)薄膜、無機(jī)薄膜的物理/化學(xué)氣相沉積，ALD沉積等光學(xué)薄膜工藝過程中實際原位在線監(jiān)測并實時反饋測量物性數(shù)據(jù)。

技術(shù)參數(shù)

武漢頤光科技有限公司(Wuhan eoptics Technology Co., Ltd.)是國內(nèi)專業(yè)從事橢偏儀以及光學(xué)納米測量設(shè)備研發(fā)、制造與銷售的高新技術(shù)企業(yè)，公司由多位具有二十多年偏振光學(xué)測量經(jīng)驗的專家聯(lián)合創(chuàng)辦，與華中科技大學(xué)緊密合作，是國內(nèi)橢偏光學(xué)儀器領(lǐng)域頗具優(yōu)勢的技術(shù)團(tuán)隊。

公司注冊于武漢東湖國家自主創(chuàng)新示范區(qū)，立足光谷，面向全球，為科研和工業(yè)用戶提供儀器、軟件、服務(wù)等綜合解決方案。

產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路、半導(dǎo)體、光伏太陽能、平板顯示、LED照明、存儲、生物、醫(yī)藥、化學(xué)、電化學(xué)、光學(xué)鍍膜、光刻材料等眾多領(lǐng)域。